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熱式氣體質量控制器優勢 質量流量計

熱式氣體質量控制器優勢 質量流量計

簡要描述:

熱式氣體質量控制器優勢質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣

產品時間:2023-09-14

詳細介紹

熱式氣體質量控制器優勢

工作原理

氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。

熱式氣體質量控制器優勢

開機操作檢查各設備連接處應無泄漏現象,,氣源的溫度和壓力應穩定,按照產品說明電路連接正確之后通電。

與流量顯示儀連接

開機操作之后,先將流量顯示儀的閥開關置到“關閉”位,將設定值調到零,再開氣,待零點穩定后,再轉到“閥控”位,然后設定值調到需要的流量值,則實際流量值會跟隨設定值而變化。

與計算機連接

開機操作之后,通過RS485與計算機通訊,之后在計算機上將設定值調到零,再開氣,待零點穩定后,再通過計算機將設定值調到需要的流量值,則實際流量值會跟隨設定值而變化。

關機操作

先斷氣,再將設定值調到零,然后斷電。

 


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